대덕밸리 벤처기업 브이에스아이(www.vsi.co.kr, 대표 김도윤)는 전량 수입에 의존하고 있는 이온빔 소스를 독자적인 기술로 개발, 출시했다고 7일 밝혔다.

이온빔 소스는 반도체 박막 세정과 광학렌즈 등의 코팅시 필수적으로 사용되는 최첨단 장비다. 이번에 개발된 이온빔 소스는 최대 60mm의 넓은 면적에 균일한 이온빔을 쏘일수 있고 외국 제품에 비해 비교적 높은 에너지(50-1500eV)를 얻을 수 있다. 또한 대부분의 이온을 불활성 가스와 활성가스 등에서 손쉽게 얻어 활용할 수 있는 특징이 있다.

이 같은 특징으로 반도체나 광학렌즈 등의 표면에 이온을 충돌시켜 미세한 오염물질을 제거할 수 있는 세정효과에 탁월하다. 이온 밀링용으로 활용할 수 있다. 이온 빔 소스를 기판 표면에 가속시켜 선택된 부분을 깎아내는 반도체 식각공정에도 적용할 수 있다. 이밖에 광자기디스크와 같은 초전도체나 자성체 등 화합물 코팅에 유용하게 활용할 수 있다.

현재 이 제품은 각 연구소를 비롯 대학 등에 납품되고 있으며 해외시장 진출을 위해 적극적으로 나서고 있다. 이 회사는 이온빔 소스외에 전자를 이용해 반도체 표면의 원자배열구조를 판별해내는 '알히드 시스템(RHEED System)'을 개발, 출시해 놓은 상태다.

김도윤 사장은 "그동안 외국제품 일색인 이온빔 소스를 국산화 했다는 점에 그 의미가 있다"면서 "타제품보다 가격이 30%가량 저렴하고 사용자가 요구하는 방식에 맞게 제작할 수 있는 경쟁력을 갖고 있다"고 말했다.

한편 브이에스아이는 지난 2000년 설립된 이온 건을 비롯 진공 관련 과학장비를 전문적으로 개발 생산하는 기업이다.

자본금 5억5천만원, 직원은 15명이다.
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