외관 먼지 제거 기술…불량 반도체소자 감소 효과
이번 특허는 에어 클리너와 같은 클리닝 수단을 일체로 구비해 반도체 소자의 외관에 부착된 미세 먼지나 이물질을 제거하는 기술이다. 그 결과 미세 먼지나 이물질과 같은 오염 물질에 의해 불량으로 판정되는 반도체 소자를 감소시킴으로써 수율을 향상시킬 수 있게 된다.
인텍플러스 관계자는 "이는 클리닝 수단이 일체로 구비된 반도체 소자의 검사 장치 및 그를 이용한 반도체 소자 검사 방법으로 이를 이용해 외관검사장비의 경쟁력을 강화할 수 있을 것"이라고 말했다.
길애경 기자
kilpaper@hellodd.com
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