외관 먼지 제거 기술…불량 반도체소자 감소 효과

발광다이오드(LED)·반도체·태양광용 외관검사장비 전문기업 인텍플러스(대표 임쌍근)는 5일 공시를 통해 '반도체 소자의 검사장치 및 그를 이용한 반도체 소자의 검사방법'에 대한 대만 특허를 취득했다고 밝혔다.

이번 특허는 에어 클리너와 같은 클리닝 수단을 일체로 구비해 반도체 소자의 외관에 부착된 미세 먼지나 이물질을 제거하는 기술이다. 그 결과 미세 먼지나 이물질과 같은 오염 물질에 의해 불량으로 판정되는 반도체 소자를 감소시킴으로써 수율을 향상시킬 수 있게 된다.

인텍플러스 관계자는 "이는 클리닝 수단이 일체로 구비된 반도체 소자의 검사 장치 및 그를 이용한 반도체 소자 검사 방법으로 이를 이용해 외관검사장비의 경쟁력을 강화할 수 있을 것"이라고 말했다.
저작권자 © 헬로디디 무단전재 및 재배포 금지