기체 질량 측정 센서 '사중극 질량분석기' 표준 승인

우리나라의 기체질량 측정기술이 국제표준이 됐다.
 

한국표준과학연구원(원장 강대임)은 기체 질량 측정센서인 '사중극 질량분석기(QMS:Quadrupole Mass Spectrometer)'에 대해 우리나라가 세운 규격이 국제표준화기구 진공기술분야(ISO/TC 112)에서 국제표준으로 승인됐다고 13일 밝혔다.

사중극 질량분석기는 반도체, 디스플레이 등 산업 현장을 비롯해 환경, 의료, 식품 등 다양한 분야에서 활용되고 있다. 장비의 가격은 수 천 만원에서 수 억 원에 이르며, 국내에서 사용 중인 수천대 이상의 장비가 전량 수입에 의존하고 있다. 이번에 국제표준으로 승인된 '사중극 질량분석의 정의 및 사양 지침(ISO 14291)' 표준은 국제표준화기구에서 프로젝트리더로 활동하고 있는 김진태 표준연 진공기술센터 박사 주도로 이뤄졌다.

이번 국제표준 지침에는 사중극 질량분석기에서 사용하는 부품 및 용어에 대한 정의와 사양을 제시하고 분석하는 방법 등이 들어있다. 이번 국제표준 승인은 사중극 질량분석기를 통한 측정 신뢰성 향상과 관련 장비의 국산화에 기여할 전망이다.

김진태 박사는 "앞으로 사중극 질량분석기의 불확도 요인과 교정절차에 대해 국제표준안을 제정하고 측정 신뢰성을 향상시켜 관련 분석장비를 국산화할 계획"이라고 말했다.

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