실시간 반도체 제조공정 측정기술 개발 공로

한국표준과학연구원(원장 강대임)이 '이달의 KRISS인상' 12월 수상자로 강상우 진공기술센터 박사를 선정했다. 강 박사는 반도체의 실시간 측정장치 신뢰성 향상 기술 개발과 측정 장치를 통한 증착공정 기술 이전을 수행한 공로를 인정받아 수상자로 선정됐다.

강 박사가 개발한 기술은 진공 상태에서 초음파를 이용해 장비 내부에 퍼져있는 입자 위치를 제어하는 방법으로 측정 효율을 향상시키고, 특정 위치의 입자 크기를 측정해 입자의 제어 목적과 환경·조건에 따라 적합한 방법을 제시할 수 있다.

이 장치는 오염 입자에 대한 측정부터 제어·제거까지 모든 프로세스가 한 번에 이뤄지는 장비로 평가받고 있으며, 수입 장비에 비해 절반 정도의 가격으로도 구축이 가능하다는 장점을 갖고 있다. 강 박사는 이에 대한 공로를 인정받아 지난 10월 지식경제부 장관상을 수상하기도 했다.

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