국제반도체장비재료협회(SEMI)와 한국반도체산업협회(KSIA)는 지난 수십 년간 북미와 일본이 선점해온 반도체공정 표준 분야에서 국내 반도체 공정기술이 국제표준(SEMI E5-0712)으로 채택되는 쾌거를 이뤘다고 15일 밝혔다.

최근 하이테크산업에서는 기술력 우위보다는 표준화 선점이 경쟁력 확보의 핵심요소로 부각되고 있으며 이것이 미래시장 주도로 직결되고 있다. 그러나 우리나라는 세계 최고의 반도체 공정기술을 보유하고 있음에도 반도체공정 분야의 표준화 활동은 미미했다. 그간 반도체공정에 사용되는 850여개의 SEMI 국제표준 중 국내에서 제정한 표준은 한 건도 없었다.

이에 SEMI와 KSIA에서는 2008년부터 삼성전자와 SK하이닉스를 중심으로 한 국내 반도체장비업체들과 함께 공정분야 표준화 활동에 박차를 가해 4년여동안 표준개발을 위해 노력해 왔다. 국제표준 SEMI E5-0712는 반도체 장비간 통신 규격에 관한 것으로 반도체 제조 팹의 자동화에 필수적인 소프트웨어 분야 표준이다. 이 기술은 팹 자동화 설비변경시 발생하는 장비간 통신오류를 낮춰 장비간 통신 편의성을 높인 것이 특징이다.

반도체 업계 관계자는 "이번 국제표준 채택으로 국제표준 주도를 위한 첫 발을 내디딘 셈이다. 이번 일로 반도체강국의 위상 제고는 물론이고 국제표준을 실질적으로 주도할 수 있는 계기를 마련했다"고 평가하고 "이번 일이 향후 반도체공정분야 표준화 선점을 위한 의미있는 출발점이 될 것"이라며 기대감을 나타냈다.

한편, 이번 표준 제정은 KSIA에서 지경부 산업융합원천기술개발사업으로 수행중인 '차세대 반도체 장비 및 소자의 표준화 기술개발 과제'의 일환으로 추진됐다.