발광다이오드(LED)·반도체·태양광용 외관검사장비 전문기업 인텍플러스(대표 임쌍근)는 20일 공시를 통해 입체형상측정장치에 관한 특허를 취득했다고 밝혔다.

이는 입체 형상을 가지는 측정물의 최고·최저점의 측정광과 동일한 기준광을 각각 생성하는 반사거리 조절수단을 구비해 측정물의 최저점과 최고점에 대한 간섭무늬를 동시에 획득할 수 있도록하는 입체 형상 측정장치에 관한 것이다.

인텍플러스 관계자는 "이번 특허는 외관검사장비 제품에 적용할 예정이다. 시장에서 경쟁력을 강화할 수 있을 것"이라며 기대감을 표시했다.

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