출연연 기술이전 반도체 검사장비 국산화 이룬다

기초지원연·모두텍, 2일 '대덕40주년 특허박람회'서 조인식
반도체소자 불량분석 기술…100억대 경제효과 기대

정광화 기초지원연 원장이 박진묵 모두테크놀로지 부설연구소장과 2일 기술이전 협약에 서명한 뒤 교환하고 있다.
출연연이 보유한 반도체 검사 관련 특허가 중소기업으로 이전돼, 산업장비 국산화에 일조할 수 있을 것으로 전망된다.

한국기초과학지원연구원(원장 정광화)은 2일 오후 3시 모두테크놀로지(대표 유재형)에 '반도체소자 불량분석장비 기술' 이전에 대한 협약을 체결했다. 이번 기술이전은 대덕특구 40주년 기념사업의 일환으로 열린 '특허박람회'를 통해 이뤄졌다.

이전되는 기술은 ▲발열분포 측정을 이용한 불량분석 장치 및 방법 ▲적외선 열화상카메라를 이용한 측정된 반도체 소자 온도분포 보정 방법 및 시스템 등 특허 2건. 기존 해외 선진기업들이 보유한 기술수준을 뛰어넘는 차세대 반도체 불량검사의 핵심기술로 평가되는 기술들이다. 기술이전 계약금은 1억3000만원.

모두텍은 반도체 및 디스플레이 불량분석·리페어 장비를 자체 개발해 반도체 생산기업에 공급하는 전문업체다. 기초지원연으로부터 반도체소자 제조공정의 수율 향상을 위한 불량검사 장비 핵심기술을 이전받은 만큼 반도체 불량검사 장비를 자체 개발한다는 계획이다.

지금까지 반도체 불량검사 장비는 전량 수입에 의존해 온 분야다. 특히 기술을 선점하고 있는 해외 기업들의 보호정책에 따라 기술습득이 어렵고, 자체개발을 위해서는 관련 기초원천기술 확보가 필요하기 때문에 중소기업이 직접 개발하기는 버거웠던 것이 사실.

황병상 기초지원연 창조정책부장은 "이번에 이전된 기술은 연구용 분석장비인 '초정밀 열영상현미경' 개발 과정에서 확보한 것들로 반도체 불량검사에 있어 외산 장비의 성능을 뛰어넘는 차세대 핵심기술"이라고 소개하고 "출연연의 기술이전을 통해 산업체의 장비 국산화 길을 열게 된 것"이라고 의미를 부여했다.

황 창조정책부장은 이어 "창조경제의 핵심은 과학과 산업의 융합"이라고 강조하고 "기초지원연이 연구개발 과정에서 확보된 기술을 초기단계부터 산업체에서 활용할 수 있도록 응용범위를 넓힌 결과가 과학과 산업의 융합이다. 이번 기술이전은 이런 협력 모델을 제시한 것"라고 덧붙였다.

한편 기초지원연은 기술이전 후에도 모두텍의 장비 상용화를 위한 시제품 개발에 추가 기술지원을 제공하는 것을 시작으로 향후 1년 이내 완제품을 개발해 주요 반도체 기업 등에 공급할 수 있도록 도울 방침이다.

 
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