기계연 첨단생산장비연구본부 광음용기계연구실은 펨토초 레이저 초정밀 하이브리드 가공기술을 이용해 레이저 가공면의 거칠기와 기울기를 조절하는데 성공했으며, 가공 정밀도도 세계 최고 수준인 50나노미터까지 향상시켰다. 

연구팀은 이 기술을 에이치피케이 등 삼성전자와 삼성디스플레이, 엘지전자 같은 대기업 협력사에 10차례에 걸쳐 기술 이전을 진행, 12억원 정도의 수입을 올렸다. 

라식 수술이나 백내장 수숭 등에 널리 쓰이는 펨토초 레이저는 1000조분의 1초 간격으로 펄스를 발생시키기 때문에 열 발생이 적다. 가공 대상물과도 직접 접촉하지 않기 때문에 가공 부위의 주변에 열로 인한 변형이 적어 미세하고 매끄럽게 가공이 가능하다. 

이 기술은 삼성이나 LG에서 만드는 스마트폰에 쓰이는 유기발광디스플레이 내부의 불량을 복원하는데 활용되고 있다. 제작 공정에서 발생하는 전선 접촉 등의 불량을 50나노미터 수준의 미세한 레이저로 수리할 수 있다. 
 
조성학 광음용기계연구실장은 "현재 레이저 가공분야는 세계적으로 한국이 우세"라며 "현재 세계 최고 수준인 50나노미터 정밀도를 넘어 레이저 가공에서 불가능하다고 여겨지는 10나노미터 급 가공 연구를 지속해 산업계 수요에 선제적으로 대응하겠다"고 말했다. 

한편 이번 기술은 지난 7월 열린 2016 국가연구개발우수성과 100선에 선정됐다.