조복래 연구원, 광·전자 융합현미경 이용 측정점검장비 기업 '모듈싸이' 

 광전자 융합현미경의 3D 이미지와 실제 시제품. <사진=한국표준과학연구원 제공>
광전자 융합현미경의 3D 이미지와 실제 시제품. <사진=한국표준과학연구원 제공>
정부출연연구기관 연구자가 빛과 전자를 동시에 보는 현미경을 개발해 창업에 나섰다. 

한국표준과학연구원(원장 박상열)은 조복래 첨단측정장비연구소 책임연구원이 '멀티 해상도 이미징을 위한 광·전자 융합현미경'을 이용한 측정점검장비 전문기업 모듈싸이를 창업했다고 27일 밝혔다. 

현미경은 가시광선을 사용하는 광학현미경과 전자 빔을 통한 전자현미경으로 구분된다. 광학현미경은 컬러 이미지와 3차원 정보를 볼 수 있지만 마이크로미터(μm) 미만 해상도를 제공하지 못한다. 

반면 전자현미경은 나노미터(nm)급 고해상도 정보를 통해 원소단위 정보를 알 수 있지만 이미지가 흑백이라는 단점이 있다. 

다양한 이미지 정보를 얻기 위해서는 광학현미경과 전자현미경에 시료를 옮겨가며 관찰해야 하지만 이는 시간·공간적 효율이 떨어지는 등 이동 과정에서 시료가 손상될 가능성도 있다. 

모듈싸이는 개별 플랫폼인 광학현미경과 전자현미경을 하나로 통합하는 '광전자 융합현미경'을 만들 수 있는 기술을 확보했다. 융합현미경은 광학과 전자 다른 두 종류의 대물렌즈를 융합해 빛과 전자로 동시에 관찰이 가능하다. 

이 현미경은 반도체나 디스플레이 공정에서 불량품을 검출하는 데 효과적으로 사용할 수 있을 것으로 내다본다. 광학 파트를 통해 마이크로 수준에서 결함이 의심되는 곳을 컬러로 파악한 후 동시에 전자 파트로 나노 수준까지 성분을 정밀 관찰하면 검출의 정확도를 향상시키고 소요시간을 단축할 수 있다. 

모듈싸이는 반도체, 디스플레이 등 전자업계 공정용 측정검사장비에 대한 개발 및 라이선싱을 수행할 계획이다. 또 제품 다양화와 소형화를 통해 바이오 물질의 실시간 검사를 필요로 하는 의료업계까지 사업 범위를 확대할 계획이다. 

조복래 박사는 "많은 업체로부터 융합현미경에 대한 측정검사장비 적용을 의뢰받고 있다"며 "다년간 축적한 현미경 설계기술을 보유하고 있기에 검사수요에 따라 얼마든지 맞춤형으로 개조 탑재할 수 있다"고 밝혔다. 

박상열 표준연 원장은 "모듈싸이가 출시한 융합현미경은 표준연이 보유한 광학과 전자현미경 원천기술을 바탕으로 하고 있다"며 "앞으로 다양한 창업기업을 배출해 표준연의 원천 측정기술을 산업계에 널리 전파할 수 있도록 노력할 것"이라고 말했다.

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