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나노종기원-코셈, 통합형 주사전자현미경 상용화

공기·열 영향 덜 받고 시편 관찰 가능···시장 경쟁력 확보
연구원과 중소기업이 만든 주사전자현미경이 시장에 진출했다.

나노종합기술원(원장 이재영)은 중소기업 코셈(대표 이준희)과 협력해 '대기 비개방형 시편제작 통합형 주사전자현미경(이하 통합 주사전자현미경)'을 개발, 상용화했다고 4일 밝혔다.

통합 주사전자현미경은 시편 제작과 관찰을 동시에 할 수 있는 일체화 구조로 제작돼, 시편이 대기 중에서 산화·오염되는 것을 막는다. 

또한 본체에 냉각모듈(펠티어 소자)이 장착돼 시편 가공 중 열에 의한 변형을 최소화한다. 관찰 신뢰성이 높은 통합 주사전자현미경은 이차전지와 유기발광다이오드 연구·분석에 쓰일 수 있다.

사업화를 주도한 양준모 나노종합기술원 본부장은 "시료의 변형으로 분석이 어려워지는 문제를 해소하고자 했다"며 "중소기업의 경쟁력을 높이는 데 기여해 보람있다"고 말했다.

이준희 대표는 "이번 개발로 새로운 제품을 확보했다"며 "전량 수입하고 있던 단면시편가공기도 국산화해 매출이 오를 것으로 기대된다"고 밝혔다.

대기 비개방 시편제작 통합형 주사전자현미경(CP-SEM)은 시편을 가공하는 단면시편제작부(CP)와 시편 관찰부(SEM)이 통합됐기 때문에 시편을 대기에 노출시키지 않은 채로 즉시 관찰할 수 있다. <사진=나노종합기술원 제공>   대기 비개방 시편제작 통합형 주사전자현미경(CP-SEM)은 시편을 가공하는 단면시편제작부(CP)와 시편 관찰부(SEM)이 통합됐기 때문에 시편을 대기에 노출시키지 않은 채로 즉시 관찰할 수 있다. <사진=나노종합기술원 제공>
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