한국기초과학지원연구원(원장 신형식)은 공초점 열반사 현미경을 개발한 장기수 연구장비개발본부 박사가 지난 13일 '2018년도 출연연 10대 우수 연구성과' 시상식에서 과학기술정보통신부 장관상을 수상했다고 17일 밝혔다. 

반도체와 디스플레이 등 마이크로 전자부품이 미세화·고성능화되는 과정에서 발생하는 열은 성능 저하와 수명 단축의 원인으로 지목된다. 이를 해결하려면 부품의 어느 부위에서 얼마나 열이 발생하고 분포하는지 정밀하게 측정해야 한다. 

공초점 현미경은 소자 표면뿐 아니라 기존 적외선 방식 열영상 현미경이 할 수 없는 내부 발열 분포까지 측정한다. 또한 기존 현미경에 비해 분해능(해상도)도 10배 정도 뛰어나다.

이 기술은 2017년 국내 광학현미경 전문 중소기업 '나노스코프시스템즈'에 이전됐고 이듬해 상용제품 'CTRM700'이 출시됐다. 곧바로 대학과 연구기관이 제품을 구매했다. 

공초점 현미경의 장점은 고가 적외선 광학 부품 가격의 3분의 1 이하 수준의 저렴한 가격이다. 외산 발열영상 현미경은 수억 원 이상이기 때문에 일부 대기업과 연구장비 서비스 전문 기관을 제외한 곳이 쉽게 구매하기 어렵다. 

1호 구매자인 대구경북과학기술원 지능형소자융합연구실 이현준 선임연구원은 "사용자 입장에서 새로운 장비 이용은 일종의 도전"이라며 "사소한 것들은 나노스코프시스템즈와 해결했고 큰 요구 사항들은 개발자인 KBSI와 이야기할 수밖에 없었는데 문제를 함께 의논하고 해결책을 찾아가서 좋았다"라고 말했다.

장기수 박사는 "좋은 연구장비 개발은 개발자가 할 수 있지만, 좋은 상품은 개발자-사업자-이용자가 힘을 합쳐야 만들어진다"며 "기술이전 이후에도 사업자·이용자와 지속적으로 협력해 상품성 향상을 위해 노력한 점을 인정받은 것 같다"고 밝혔다.