대덕밸리 벤처기업 플라즈마트(대표 장홍영, www.plasmart.co.kr)는 기존 외산 제품 10분의 1수준의 가격이면서도 플라즈마의 특성을 효율적으로 측정할 수 있는 특성분석장치 'HLP 2001'을 출시했다고 27일 밝혔다.

플라즈마란 고체·액체·기체 이외의 제4의 물질로도 불리며 전기적인 방전으로 인해 이온화된 기체.

전기탐침 방식의 이 제품은 플라즈마의 밀도·전위, 전자온도 등의 값을 실시간으로 측정해 반도체 공정, 세정공정, 섬유 및 고분자 물질 등의 표면처리 공정 등의 효율성 증대효과를 얻을 수 있다. 또한 공정 시스템의 불량원인을 찾아내는 감시시스템으로의 활용이 가능하며 장비 출고전 품질테스트에도 사용이 가능하다. 특히 장비개발업체에서는 신속한 장비 개선, 개발 기간 단축, 개발비 절감 효과를 기대할 수 있다.

이 제품이 낮은 가격대에 이처럼 다양한 활용범위를 보이는 이유는 기존 제품이 사용하던 랑뮤어탐침이 아닌 텅스턴 팁 4개를 이용한 새로운 전기탐침 방식을 사용했기 때문. 랑뮤어탐침은 측정된 아날로그 신호를 분석하기 위해 탐침과 콘트롤러 외에 PC가 필요했으나 이 제품은 콘트롤러 자체에서 계산을 수행하도록 설계돼 PC가 필요없다. 플라즈마에 대한 정보처리도 측정부 자체에서 이뤄져 전송선을 가동하기 위해 1백∼2백V대의 고전압을 사용하지 않고 1∼2V대의 저전압에서 접지없이 플라즈마의 특성을 측정할 수 있어 플라즈마의 특성에 영향을 주지 않는 장점이 있다.

탐침 1개당 콘트롤러도 1개씩 필요하던 랑뮤어탐침에 비해 이 제품은 콘트롤러 하나당 최고 3개의 탐침을 연결해 플라즈마 측정의 범위를 넓혔을 뿐 아니라 여러 대의 플라즈마 분석장치의 효과를 낼 수 있다. 또 플라즈마를 발생하는데 사용되는 RF주파수에 따라 필터를 교체해야 하는 랑뮤어탐침과는 달리 이 제품은 필터를 교체할 필요도 없어 운용비 절감효과도 가져다 준다.

정홍영 사장은 "최근 공정이 복잡해지고 어려워짐에 따라 플라즈마 사용수요도 늘고 불량시 손실도도 커지고 있는 추세로 플라즈마 특성측정이 중요해지고 있다"며 "국내시장공략은 물론 국내 반도체 측정장비업체인 세미시스코와 함께 해외시장진출도 꾀하고 있다"고 말했다.

한편 카이스트 자연과학동에 입주해 있는 플라즈마트는 지난해 4월 카이스트 플라즈마연구실에서 자본금 2억원으로 창업한 벤처기업이며 11명의 연구 및 마케팅인력으로 구성돼 있다.

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