이회사가 개발한 이번 측정시스템(ST-Map-8000)은 기존 광간섭식 박막두께 측정기에서 받아들인 이미지를 다시 미세영역으로 분할해 동시에 여러 지점을 측정할 수 있도록 한 것이 특징이다. 즉 미세영역의 측정한계를 2㎛에서 0.2㎛로 10배정도 향상시켰을 뿐만 아니라 한번의 측정으로 일정영역내 여러지점의 두께를 조감할 수 있도록 한 장치이다.

케이맥은 이 원리를 이용할 경우 스테이지를 움직이지 않고도 시료표면의 전체적인 2차원 매핑(Mapping)이 가능해 측정시간을 단축할 수 있으며 응용성이 풍부한 SW를 내장하고 있는 등 많은 장점이 있다고 설명했다. 특히 높은 성능과 응용성으로 외국 업체들과의 박막 두께 측정기분야에서 확실한 기술적 우위를 확보할 수 있어 수출전망도 밝다고 덧붙였다.

이에따라 이 측정시스템은 점점 미세패턴화 되고 있는 반도체나 박막트랜지스터(TFT) LCD 공정라인에서 모니터링 기기로 활용될 수 있을 전망이다.

이성환이사는 "세계에서 처음으로 고안된 이 기술은 이미 특허출원했으며 국내 대기업의 특수목적에 맞춰 첫 제품이 제작되고 있다"며 "시스템이 납품될 경우 국내에서만도 수십대 이상의 수요가 있을 전망이다"고 말했다.

한편 케이맥은 대덕밸리내 물성분석 전문회사로 국내에서는 유일하게 초소형 광섬유식 분광기, 흐림주입분석기(FIA) 등과 함께 박막의 두께를 광학적인 방법으로 측정하는 장치들을 개발, 공급해 오고 있다.

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