시설·장비 공동 활용 등 센터 활성화 '기대'

나노종합팹센터(이하 NNFC·소장 이희철)는 u-IT 클러스터 추진센터(센터장 오계환)와 초미세전기기계시스템(이하 MEMS) 기술 관련 공동 협력체계 구축을 위한 업무협약(MOU)을 30일 체결했다.

양 기관은 MEMS 관련 기술의 연구개발 분야에 상호 협력함으로써 각각 운영 중인 센터를 활성화시키고, MEMS 센서 산업의 발전을 도모할 계획이다. 

주요 협력 범위는 ▲관련 시설 및 장비의 공동 활용 ▲공동 연구 및 위탁 연구 수행 등이다. 현재 NNFC는 u-IT 클러스터 추진센터에 NNFC의 장비 및 공정기술을 활용해 패턴 웨이퍼(Wafer) 제작, 센서용 TEG 개발에 필요한 웨이퍼 제작, 모듈(Module) 공정 기준의 TEG(Test Element Group) 개발 등을 지원하고 있다.

앞으로 양 기관은 MEMS 관련 공동 연구개발 사업 기획·발굴, 기술·학술 정보교류, 인력 교류 등 다방면에 걸쳐 협조체계를 강화하기로 했다.

한편, u-IT클러스터 추진센터는 한국정보사회진흥원 부설기관으로 RFID/USN 관련 제품의 설계·제조·조립·시험인증에 이르는 생산 전반을 지원하는 공유기반시설 구축하고 있다.

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