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최기영 장관, 日수출규제 1년 "산·학·연 역량결집 계기"

나노종기원 반도체 소재·부품·장비 테스트베드 현장 방문
"반도체 테스트베드, 실제 수요기업 구매로 이어지는 것 중요"
최기영 과기부 장관이 조주형 나노종합기술원 실장에게 테스트베드 현장에 대해 설명을 듣고 있다. 현장 점검에는 신성철 KAIST 총장과 이조원 나노종합기술원장이 함께했다. <사진=과학기술정보통신부 제공>최기영 과기부 장관이 조주형 나노종합기술원 실장에게 테스트베드 현장에 대해 설명을 듣고 있다. 현장 점검에는 신성철 KAIST 총장과 이조원 나노종합기술원장이 함께했다. <사진=과학기술정보통신부 제공>

최기영 과학기술정보통신부 장관은 11일 나노종합기술원 반도체 소재·부품·장비 공공테스트베드 구축 현장을 찾아 일본 수출규제 대응 상황을 점검했다. 지난해 7월 일본이 수출 규제를 걸어온 지 1년여 만이다. 

최기영 장관은 지난 1년에 대해 "일본 수출규제 대응을 통해 산·학·연·관이 역량을 결집하는 계기가 됐다"고 평가했다. 이어 최 장관은 "반도체 테스트베드를 거친 소재·부품이 실제 수요 기업 구매로 이어지는 것이 가장 중요하다"며 "나노종기원이 중소기업에 질 좋은 서비스를 제공하는 것을 넘어 최종 수요기업을 위한 전향적인 접근도 중요하다"고 강조했다. 

최기영 과기부 장관이 11일 나노종합기술원을 찾아 일본 수출규제 대응 1년을 되짚어봤다. <사진=김인한 기자>최기영 과기부 장관이 11일 나노종합기술원을 찾아 일본 수출규제 대응 1년을 되짚어봤다. <사진=김인한 기자>

정부는 2022년까지 나노종기원에 450억원을 투입해 반도체 테스트베드를 구축하고 있다. 대기업 양산 설비와 비슷한 실장 환경을 구축해 중소기업이 개발한 소재·부품·장비에 대한 실험과 성능평가를 지원하기 위한 취지다. 특히 삼성전자와 SK하이닉스 등에서 활용하는 12인치 반도체 테스트베드를 구축하고 있다.

12인치는 웨이퍼 지름 길이다. 웨이퍼는 반도체 토대를 구성하는 얇은 원판을 일컫는다. 반도체는 미세한 조건에 따라 성질이 변할 수 있어 나노 수준의 정밀도가 요구된다. 이런 성질 때문에 웨이퍼 표면은 고도로 평탄해야 한다. 웨이퍼 크기는 보통 150mm(6인치)에서 200mm(8인치), 300mm(12인치)까지 있다. 크기가 커질수록 장당 생산 물량이 늘어난다. 그동안 삼성전자·SK하이닉스는 12인치 웨이퍼를 사용했지만, 국내에선 대기업 수요에 맞는 반도체 소재·부품·장비를 만들 수 있는 중소기업이 거의 없고, 실증할 공간조차 없었다. 

이를 해결하고자 지난해부터 나노종기원은 12인치 테스트베드를 구축하게 됐다. 나노종기원은 지난 5월 삼성전자와 계약을 통해 ArF Imersion 노광기를 들여왔다. 해당 장비는 반도체 테스트베드의 핵심장비로 300억원 이상이 투입됐다. 장비 구축 전부터 수요는 SK 머티리얼즈를 포함해 다수 기업들이 있는 것으로 알려졌다. 나노종기원은 향후 그 외 장비 8대를 연내 입고하고, 테스트베드 장비 사용자에 대한 교육과 시범 서비스를 제공한다는 계획이다.

최 장관은 이날 테스트베드 현장 점검 후 간담회를 개최했다. 최 장관은 김창한 삼성전자 전무에게 ArF Imersion 노광기를 들여오는 과정에서 삼성전자가 협조한 점에 대해 감사의 메시지를 전하기도 했다. 이와 함께 SK 하이닉스, SK 머티리얼즈, ASML 코리아, 메카로, 주성엔지니어링, 트루윈, 티엔에스, KAIST 등 기업 관계자들과 테스트베드 발전을 위한 기업 건의사항, 상생 협력 방안 등에 대해 논의했다. 특히 반도체 테스트베드 장비를 활용한 성능 평가가 실질적으로 이어질 수 있는지 직접 질의하고 확인하기도 했다.   
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