진행은 우원테크놀러지(장영민)의 DIR 공정 및 최근동향, 전자부품연구원(박순섭)의  LIGA 공정 및 최근동향, 표준과학연구원(박세일)의 열센서 및 응용기술, (주)KEFICO(이상조)의 자동차 전장용 압력센서, 표준과학연구원(한준희) Nanoindentation을 이용한 MEMS 재료 특성평가 등의 순으로 진행됐고 끝으로 실리콘 미세가공실 견학이 이어졌다.

이날 워크숍에 참석한 (주)그린센서의 김정길전무는 "MEMS 기술은 이론적으로는 이미 체계가 잡혀있다"며 "이제 실용화하는 단계에 접어 들면서 기업들의 MEMS에 대한 관심은 더욱 늘어날 것으로 보인다"고 전했다.

한편 이날 워크샵에는 서울대, 경북대, 경상대, 한림대 등 학계를 비롯 ETRI, 국방과학연구소, 에이팩, 케이맥 등에서 60여명이 참석해, 예상보다 많은 참석자로 인해 더 넓은 강의실로 옮겨야 했다. MEMS 기술은 반도체 칩에 내장된 센서, 밸브, 기어, 반사경, 그리고 구동기 등과 같은 아주 작은 기계장치와 컴퓨터를 결합하는 기술이다.

<대덕넷 전용기>courage@hellodd.com